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    小型金屬濺射鍍膜機優點

    更新時間:2023-08-16瀏覽:662次

                                                         鄭科探小型濺射儀功能優勢




    1、樣品臺旋轉,多樣品同時鍍膜時,鍍膜厚度比較均勻。


    2、預濺射擋板功能,剛開始鍍膜的時候腔室里會有些雜質,擋板可以保護樣品,提高薄膜質量


    3、帶有水冷系統,可以長時間濺射鍍膜,厚度可達1微米以上。


    4、直流磁控濺射,提高附著力,濺射速率快,比離子濺射快上一個量級。針對某些金屬最快能達到1-2納米每秒,


    5、不但可以電鏡制樣,還可以制作金屬電極。


    6、可擴展膜厚監測,監測薄膜厚度。


    濺射儀使用需注


    1 靶材需要良好的導電性, 如果具備這個條件  可以鍍    


    2 遇到容易氧化的金屬 需要配備分子泵把本底真空抽到1E-3Pa 放氬氣維持真空到1Pa左右鍍膜的金屬接近本色


     

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